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1. WO2020230360 - CAN ROLLER FOR VACUUM PROCESSING DEVICE

Publication Number WO/2020/230360
Publication Date 19.11.2020
International Application No. PCT/JP2019/051374
International Filing Date 27.12.2019
IPC
C23C 14/56 2006.01
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
22characterised by the process of coating
56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
Applicants
  • 株式会社アルバック ULVAC, INC. [JP]/[JP]
Inventors
  • 齋藤 修司 SAITOU Shuuji
Agents
  • 特許業務法人青莪 SEIGA PATENT AND TRADEMARK CORPORATION
Priority Data
2019-08965710.05.2019JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) CAN ROLLER FOR VACUUM PROCESSING DEVICE
(FR) ROULEAU DE TYPE BOÎTE POUR DISPOSITIF DE TRAITEMENT SOUS VIDE
(JA) 真空処理装置用のキャンローラ
Abstract
(EN)
Provided is a can roller for a vacuum processing device such that the occurrence of a temperature distribution in a sheet-like substrate in a length direction or in a width direction thereof is suppressed as much as possible. This rotatable can roller CR is used for a vacuum processing device Dm for performing predetermined vacuum processing on the surface of a sheet-like substrate Sw while causing the substrate to travel inside a vacuum chamber Vc, is disposed to face a processing unit Es for performing the vacuum processing, and is used with the sheet-like substrate being wound therearound, said can roller being provided with a shaft body 1, an inner cylinder body 2 fitted over the shaft body, an outer cylinder body 3 surrounding the outer cylinder surface of the inner cylinder body with a space Ds therebetween, and cover bodies 41, 42 for closing both axial ends of the inner cylinder body and outer cylinder body. The cover bodies respectively have multiple flow paths 421, 422. Cross-sections of the flow paths along an axial direction thereof overlap with cross-sections of the cover bodies, and the cross-sectional area of the space formed between the inner cylinder body and the outer cylinder body and communicating with the flow paths is set so as to obtain a predetermined flow rate.
(FR)
L'invention concerne un rouleau de type boîte pour un dispositif de traitement sous vide visant à supprimer, autant que possible, l'apparition d'une distribution de température dans un sens longueur ou dans un sens largeur d'un substrat en feuille. Ce rouleau de type boîte rotatif CR est utilisé pour un dispositif de traitement sous vide Dm destiné à effectuer un traitement sous vide prédéterminé sur la surface d'un substrat en feuille Sw ,tout en amenant le substrat à se déplacer à l'intérieur d'une chambre à vide Vc ; il est disposé pour faire face à une unité de traitement Es destinée à effectuer le traitement sous vide ; et il est utilisé avec le substrat en feuille enroulé autour de celui-ci, ledit rouleau de type boîte étant pourvu d'un corps d'arbre 1, d'un corps cylindrique interne 2 monté sur le corps d'arbre, d'un corps cylindrique externe 3 entourant la surface cylindrique externe du corps cylindrique interne avec un espace Ds entre ceux-ci, et des corps de couvercle 41, 42 pour fermer les deux extrémités axiales du corps cylindrique interne et du corps cylindrique externe. Les corps de couvercle comportent respectivement de multiples trajets d'écoulement 421, 422 Des sections transversales des trajets d'écoulement le long d'une direction axiale de ceux-ci chevauchent des sections transversales des corps de couvercle, et l'aire de section transversale de l'espace formé entre le corps de cylindre interne et le corps de cylindre externe et communiquant avec les trajets d'écoulement est définie de façon à obtenir un débit prédéterminé.
(JA)
シート状の基材にその長さ方向や幅方向の温度分布が生じることが可及的に抑制されるようにした真空処理装置用のキャンローラを提供する。 真空チャンバVc内でシート状の基材Swを走行させながらその表面に対して所定の真空処理を施す真空処理装置Dmにて、真空処理を施す処理ユニットEsに対峙させて設けられ、シート状の基材が巻き掛けられる回転自在な本発明の真空処理装置用のキャンローラCRは、軸体1と、軸体に外挿される内筒体2と、隙間Dsを存して内筒体の外筒面を囲う外筒体3と、内筒体と外筒体の軸方向の両端を夫々閉塞するカバー体4,4とを備える。各カバー体が複数本の流路42,42を有し、軸方向に沿った各流路の断面がカバー体の断面に重なり、各流路に夫々連通する内筒体と外筒体との隙間の断面積が所定の流速が得られる大きさに設定される。
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