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1. WO2020129351 - HANDLER

Publication Number WO/2020/129351
Publication Date 25.06.2020
International Application No. PCT/JP2019/038658
International Filing Date 30.09.2019
IPC
G01R 31/26 2014.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
26Testing of individual semiconductor devices
Applicants
  • 株式会社 SYNAX SYNAX CO., LTD. [JP]/[JP]
Inventors
  • ソー ヴィンセント SO, Vincent
  • 藍原 崇光 AIHARA, Takamitsu
  • 丸山 倫央 MARUYAMA, Tomohisa
Agents
  • 特許業務法人スズエ国際特許事務所 S & S INTERNATIONAL PPC
Priority Data
2018-23989521.12.2018JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) HANDLER
(FR) MANIPULATEUR
(JA) ハンドラ
Abstract
(EN)
In an IC handler 100, a crank part 150 having a suction hand 141 attached thereto comprises a first part 151a that has the suction hand 141 attached thereto and extends along a direction intersecting a direction (vertical direction Z) following a movement path K and a second part 151b that is connected to the first part 151a and extends from the position where the second part 151b is connected to the first part 151a toward the side further from a placement area T in the direction (vertical direction Z) following the movement path K. The IC handler 100 can be in a first configuration or second configuration. In the first configuration, the suction hand 141 is positioned within the movement path K and the second part 151b is positioned outside of the movement path K so as to oppose a contactor 110. In the second configuration, the contactor 110 is made to approach an IC chip 10 (member) disposed in the placement area T.
(FR)
L'invention concerne un manipulateur de CI (100) dans lequel une partie manivelle (150) à laquelle est fixée une main d'aspiration (141) comprend une première partie (151a) à laquelle est fixée la main d'aspiration (141) et s'étendant le long d'une direction croisant une direction (direction verticale Z) suivant un trajet de déplacement K et une seconde partie (151b) reliée à la première partie (151a) et s'étendant depuis la position où la seconde partie (151b) est reliée à la première partie (151a) vers le côté le plus éloigné d'une zone de placement T dans la direction (direction verticale Z) suivant le trajet de déplacement K. Le manipulateur de CI (100) peut se trouver dans une première configuration ou une seconde configuration. Dans la première configuration, la main d'aspiration (141) est positionnée à l'intérieur du trajet de déplacement K et la seconde partie (151b) est positionnée à l'extérieur du trajet de déplacement K de façon à s'opposer à un contacteur (110). Dans la seconde configuration, le contacteur (110) est amené à s'approcher d'une puce CI (10) (élément) disposée dans la zone de placement T.
(JA)
ICハンドラ100において、吸着ハンド141が取り付けられたクランク部150は、吸着ハンド141が取り付けられ移動経路Kに沿った方向(垂直方向Z)と交わる方向に沿って延びた第1の部分151aと、第1の部分151aと接続され、第1の部分151aと接続された位置から移動経路Kに沿った方向(垂直方向Z)の設置領域Tから離れる側に向かって延びた第2の部分151bを備えている。ICハンドラ100は、第1の姿勢と第2の姿勢をとることができる。第1の姿勢は、吸着ハンド141を移動経路Kの中に位置させ、第2の部分151bをコンタクタ110と向かい合うように移動経路Kの外に位置させる姿勢である。第2の姿勢は、コンタクタ110を設置領域Tに配置されたICチップ10(部材)に接近させる姿勢である。
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